Bei Membranverneblern sind die Vorteile von Ultraschall- und Düsenverneblern vereint. Es werden die Schwingungen eines elektronisch angeregten Piezorings auf eine dünne Membran aus Edelmetall übertragen. Die dabei entstehenden periodischen Druckschwankungen pressen Medikamentenlösungen durch Mikrodüsen. Im Vergleich zu Ultraschallverneblern erzeugen Membranvernebler nur eine relativ geringe Frequenz. Das ermöglicht es, dass bei dieser Art von Vernebelung auch instabile Wirkstoffe, wie Steroide eingesetzt werden können. Zudem sind diese Inhalationsgeräte meist handlicher als die üblichen Druckluft-Vernebler.